| 主权项 |
1.一种侦测电路,包括:一第一继电器耦合一电磁阀以侦测该电磁阀的操作状态;一第二继电器耦合该第一继电器,具被调整以因应该第一继电器的闭合而闭合;一感测器,以检查一元件的操作状态;一第三继电器耦合该感测器,其中该感测器被调整以提供一信号使该第三继电器闭合,而且其中该第二继电器因应该第三继电器的闭合而跳脱;以及一第四继电器耦合该第一及第二继电器,其中当该第一继电器跳脱及该第二继电器闭合时该第四继电器闭合。2.如申请专利范围第1项之电路,其中该元件包括一帮浦。3.如申请专利范围第1项之电路,其中该第一、第二、第三及第四继电器均包括一第一继电器接点在一打开位置及一第二继电器接点在一关闭位置。4.如申请专利范围第3项之电路,其中该第一继电器的第一继电器接点被耦合并联该第二继电器的第一继电器接点,并且被耦合串联该第三继电器的第二继电器接点。5.如申请专利范围第3项之电路,其中该第一继电器的第一继电器接点被耦合串联该感测器,以及该第三继电器的第一继电器接点被耦合并联该感测器。6.如申请专利范围第3项之电路,其中该第一继电器的第二继电器接点被耦合串联该第二继电器的第一继电器接点。7.如申请专利范围第6项之电路,其中该第一继电器的第二继电器接点被耦合串联该第二继电器的第一继电器接点。8.如申请专利范围第1项之电路,更包括一警报器耦合该第四继电器以藉由该第四继电器的闭合而致动。9.一种在半导体制程中喷洒一光罩材料的系统,包括:一喷洒控制器,以控制一层光罩材料的喷洒;一帮浦,含有一电磁阀操作在一致动状态及一停止状态;以及一侦测电路,电耦合该喷洒控制器与该帮浦,以侦测该帮浦的操作及提供该喷洒控制器一信号指示该帮浦的操作,该侦测电路含有一第一继电器以提供一信号至该喷洒控制器,当该帮浦运转超过该帮浦的规格时,停止该系统。10.如申请专利范围第9项之系统,其中该侦测电路包括:一第二继电器,耦合该电磁阀以侦测该电磁阀的状态;一第三继电器,耦合该第二继电器并且因应该第二继电器的闭合而闭合;一感测器,以侦测该帮浦的运转;以及一第四继电器耦合该感测器并且因应从该感测器传送的信号而闭合;其中,该第三继电器因应第四继电器的闭合而跳脱。11.如申请专利范围第9项之系统,其中该第一继电器被耦合至该第二及第三继电器并且因应该第二继电器的跳脱与该第三继电器的闭合而闭合。12.如申请专利范围第10项之系统,其中该第一、第二、第三及第四继电器均包括一第一继电器接点保持在一打开位置及一第二继电器接点保持在一关闭位置。13.如申请专利范围第12项之系统,其中该第二继电器的第一继电器接点被耦合并联该第三继电器的第一继电器接点,并且被耦合串联该第四继电器的第二继电器接点。14.如申请专利范围第12项之系统,其中该第二继电器的第一继电器接点被耦合串联该感测器,以及该第四继电器的第一继电器接点被耦合并联该感测器。15.如申请专利范围第12项之系统,其中该第二继电器的第二继电器接点被耦合串联该第三继电器的第一继电器接点。16.如申请专利范围第15项之系统,其中该第二继电器的第二继电器接点与该第三继电器的第一继电器接点被耦合并联该第一继电器的第一继电器接点。17.如申请专利范围第9项之系统,更包括一蜂鸣器耦合该第一继电器并且因应该第一继电器的闭合而闭合。18.一种侦测电路,包括:一第一继电器,耦合一电磁阀,并且分别地因应该电磁阀的致能及停止而闭合及跳脱,该第一继电器具有一第一继电器接点及一第二继电器接点;一第二继电器,具有一第一继电器接点及一第二继电器接点,该第二继电器的第一继电器接点被耦合并联至该第一继电器的第一继电器接点并且被耦合串联至该第一继电器的第二继电器接点以使该第二继电器因应该第一继电器的闭合而闭合;一感测器,耦合一帮浦;一第三继电器,具有一第一继电器接点耦合并联该感测器,及一第二继电器接点耦合串联该第一继电器的第一继电器接点,其中该第二继电器因应该第三继电器的闭合而跳脱;一第四继电器,具有一第一继电器接点及一第二继电器接点,该第四继电器的第一继电器接点被耦合并联至该第一继电器的第二继电器接点及该第二继电器的第一继电器接点以使该第四继电器因应该第一继电器的跳脱及第二继电器的闭合而闭合。19.如申请专利范围第18项之电路,其中,当该继电器跳脱时,该第一、第二、第三及第四继电器的第一继电器接点及等二继电器接点分别地保持在一打开位置及一关闭位置,以及当该等继电器闭合时,分别地保持在一关闭位置及一打开位置。20.如申请专利范围第18项之电路,更包括至少一个发光二极体以指示该至少一个的继电器之操作状态。图式简单说明:第一图系一习知的侦测系统之方块图;第二图系根据本发明的一个实施例的喷洒系统之方块图;第三图A到D系根据本发明的一个实施例的可程式逻辑电路之侦测电路的电路图;以及第四图系显示第三图侦测电路的时脉图。 |
