| 主权项 |
1.一种用来加工平面媒介的机台,包括:一第一区用来接收平面媒介;一具有至少一加工室以用来加工平面媒介之第二区;一可在第一区及二区之间移动之自动控制装置;一装设于至少一加工室内的可旋转转子,该转子包括:一接触杆,其可由平面媒介自转子置入或移出的第一位置,移动至该接触杆将平面媒介固定定位在转子内的第二位置;及一锁杆,接合于接触杆之一凸臂表面,以促使接触杆由第一位置移向第二位置。2.如申请专利范围第1项之机台,其中接触杆以垂直的角度接触元件,且在接触杆及元件之间没有任何的滑动。3.如申请专利范围第1项之机台,进一步包括转子上的刷子,一在接触杆上的凸臂表面,且锁杆与凸臂表面囓合。4.如申请专利范围第3项之机台,其中凸臂表面具有一个第一曲面及一第二曲面。5.如申请专利范围第4项之机台,其中凸臂表面的结构可使元件在接触杆接触元件之前置于刷子上。6.一种用于化学加工室的转子,包括:一前环;一锁杆,系可枢转地装设于前环上,锁杆有一驱动柄可与装卸装置相囓合;一固定器,系可枢转地设于前环上,并偏压向锁杆而可与锁杆囓合。7.如申请专利范围第6项之转子,进一步包括在固定器上至少设有一凸臂,该凸臂有一凸臂表面包含了第一曲面及第二曲面,第二曲面与第一曲面邻接。8.如申请专利范围第6项之转子,进一步包括一在固定器上的凸臂表面,凸臂表面可与锁杆囓合。9.一种用于化学加工室的转子,包括:一前环;一后盘;一对底部连接杆与前环及后盘相连;一对底部刷子位在底部连接杆之上;一对侧边连接杆与前环及后盘相连;一对侧边刷子位在侧边连接杆之上;及一在转子上的锁闸装置,锁闸装置包括:一左侧锁杆及一个右侧锁杆,各锁杆均可枢转地装设于前环及后盘上,且各锁杆均有一驱动柄与凸杆相连;一左侧固定器及一右侧固定器可枢转地装设于前环及后盘上,且左侧固定器及右侧固定器具有至少一凸臂偏压而可分别与左侧锁杆和右侧锁杆相接触;左侧固定器及右侧固定器可藉由驱动柄的囓合或移开,从一元件可自转子中置入或移出的打开位置,移动到元件被固定器及刷子固定于转子内的关闭位置。10.一种用于加工室的转子,包括:一具有至少一个连接杆的转子框架;一在连接杆上的刷子,刷子有多个刷齿由缺口所分隔;及一条弹性带,延伸至少刷子的部分长度。11.如申请专利范围第10项之转子,进一步包括多个连于刷子上分开设置的侧钩,以及支持于侧钩上之弹性带。12.如申请专利范围第10项之转子,其中弹性带包括了一条O型带。13.如申请专利范围第10项之转子,其中刷齿有面向缺口的不同角度的多个平面。14.如申请专利范围第10项之转子,其中刷齿有面向缺口的圆侧面。15.如申请专利范围第10项之转子,其中刷齿有一面向弹性带的平坦面。图式简单说明:图1是一种用来加工例如半导体晶圆或类似元件的平面媒介加工机器的立体图。图2是图1之机器的输送工具或手动工具的透视图。图3是图1之加工室里的离心加工转子的透视图。图4是图3中转子的前视图。图5是图3和图4中所示之底部刷子的透视图。图6是其剖视面。图7是其前视图。图8是图5中刷子部分的部分放大图。图9是图4中侧边刷子的立体图。图10是其剖视面。图11是其前视图。图12是图9中刷子的部分放大图。图13是图3和图4右侧的元件固定器的透视图,左侧的元件固定器与其呈对称。图14是固定杆盖的透视图,其系设于图13中所示之元件固定器上。图15是图13之元件固定器的其中一臂的立体图。图16是其前视图。图17是图3中转子的部分放大图。图18是图3和图17中其中一个锁杆的部分透视图。图19是图3之转子的剖面示意图,显示左侧固定器位在上方或打开的位置。图20是图3中离心加工转子的剖面示意图,显示左侧固定器藉由图3及图17中之锁杆移至中间的位置。图21是图3中离心加工转子的剖面示意图,显示左侧固定器藉由图3.17及图18中之锁杆移至下方或关闭的位置。图22是图3中装有一批圆形元件的离心加工转子的透视图。图23是其侧视图。 |
