| 摘要 |
本发明系提供可促进施行制程之系统和方法。集合基本参数之评估值作为品质矩阵，该品质矩阵根据其对于一个或多个设计目标之重要性而加权个别之参数。藉由根据譬如产品设计、模拟、测试结果、产率资料、电资料，以及类似之资讯，而加权各基本参数。本发明然后能够发展品质指标，该品质指标为目前制程之综合“分数”。然后控制系统能够将品质指标与设计规格相比较，以便判定是否可接受目前的制程。若该制程为不可接受，则可修正测试参数用于进行中制程，该制程能够再运作和再实施以完成制程。如此，依照产品设计和产率，元件之个别层能对于不同之规格和品质指标而定型化。 |
