发明名称 | 研磨垫整理装置及利用其整理研磨垫之方法 | ||
摘要 | 本发明系关于研磨半导体晶圆之化学机械研磨设备内用于整理研磨垫之研磨垫整理装置及利用其整理研磨垫之方法,其中本发明之研磨垫整理装置包括:研磨垫,具有一相反电极设置于上述研磨垫内;研磨垫整理器,具有一研磨盘及一研磨支撑架,且上述研磨垫整理器内设置有一电极;以及偏压产生器,用于施加一偏压于上述相反电极及电极间以于研磨盘与研磨垫间产生一电场以吸附或吸引带电荷粒子。 | ||
申请公布号 | TW200408506 | 申请公布日期 | 2004.06.01 |
申请号 | TW091133957 | 申请日期 | 2002.11.21 |
申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 洪永泰 |
分类号 | B24B7/24;B24B37/04 | 主分类号 | B24B7/24 |
代理机构 | 代理人 | 洪澄文;颜锦顺 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学园区力行路十六号 |