研磨垫的制造方法

摘要

一种研磨垫的制造方法，此方法系首先提供一模具，接着在此模具内预埋入至少一条状物，其中条状物之断面形状包括多边形、圆弧形或不规则形。然后于此模具中注入一高分子发泡体，并待高分子发泡体硬化成型后，进行一脱模步骤，而取得一高分子成型物。最后移除或分解高分子成型物上之条状物，即形成具有至少一沟槽图案之一研磨垫。