暂时性固定固体用组成物及方法

摘要

将2个固体相互且暂时地固定之方法。其方法系藉由使用液晶化合物或含有液晶化合物的组成物来将2个固体相互且暂时地固定之暂时性固定方法。此方法可作为例如将一固体作为半导体装置用晶圆之化学机械研磨用填料，另一固体作为欲固定其之定盘时，欲将半导体装置用晶圆固定于其上进行研磨之化学机械研磨用填料的暂时性固定方法来使用。