主权项 |
1.一种防静电破坏之机械手臂,应用在液晶显示器 的制造上,该防静电破坏之机械手臂至少包含: 一主体;以及 复数个衬垫分布于该主体上,用以承载一基板,其 中该衬垫之材质与该基板之材质相同。2.一种防 静电破坏之机械手臂,应用在液晶显示器的制造上 ,该防静电破坏之机械手臂至少包含: 一主体;以及 复数个衬垫分布于该主体上,用以承载一基板,其 中该衬垫之材质与该基板之材质相似,以使该基板 在整个加工过程中因摩擦而产生之静电荷不会破 坏该基板上之电子元件。3.如申请专利范围第2项 所述之防静电破坏之机械手臂,其中当该基板的材 质为玻璃时,其中该些衬垫的材质为石英。4.一种 防静电破坏之机械手臂,该机械手臂包含一主体, 以及复数个衬垫分布于该主体上,用以承载一基板 ,其特征为: 该些衬垫之材质与该基板之材质相同。5.一种防 静电破坏之机械手臂,该机械手臂包含一主体,以 及复数个衬垫分布于该主体上,用以承载一基板, 其特征为: 该些衬垫之材质与该基板之材质相似,以使该基板 在整个加工过程中因摩擦而产生之静电荷不会破 坏该基板上之电子元件。6.如申请专利范围第5项 所述之防静电破坏之机械手臂,其中当该基板的材 质为玻璃时,其中该些衬垫的材质为石英。图式简 单说明: 第1图系绘示一机械手臂搬运一基板之俯视示意图 。 第2图系绘示绘示一机械手臂之俯视示意图。 |