发明名称 形成陶瓷质物质用组成物及陶瓷质物质之制造方法
摘要 本发明系有关低温下欲顺利地在电子制品上所用基板或塑胶薄膜等固体制品上形成陶瓷质被膜所用之形成陶瓷质物质用组成物,以及制造陶瓷质物质的方法。上述组成物系含有矽胺烷聚合物,与至少一种选自胺化合物,酸化合物及过氧化物中之陶瓷质化促进剂所成者。又,该陶瓷质物质系可藉由使水蒸汽与含矽胺烷系聚合物及陶瓷质化促进剂之混合物相接触予以制造。
申请公布号 TW589356 申请公布日期 2004.06.01
申请号 TW085108625 申请日期 1996.07.16
申请人 克拉瑞国际股份有限公司 发明人 清水泰雄;松尾英树;山田一博
分类号 C09D183/00;H01L21/312 主分类号 C09D183/00
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼;何秋远 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种形成陶瓷质用组成物,其特征为由矽胺烷系 聚合物,及下列式(VII)所示之链状胺化合物或环状 化合物、及至少一种选自过氧化氢、过氧化钠、 过氧化钙、过氧化氢加成物、过氧酸、过氧酸盐 之过氧化物陶瓷质化促进剂、及有机溶剂之混合 物; 前述陶瓷质化促进剂于有胺化合物下,相对于矽胺 烷系聚合物之添加量为1重量ppm以上; 前述陶瓷质化促进剂于有过氧化物下,相对于矽胺 烷系聚合物之添加量为0.1重量ppm以上; R5R6R7N 式(VII) (式中,R5.R6.R7为各种氢原子或有机基、至少有一为 甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、二乙胺、三乙胺 、丙胺、二丙胺、三丙胺、丁胺、二丁胺、三丁 胺、戊胺、二戊胺、三戊胺、己胺、二己胺、三 己胺、庚胺、二庚胺、辛胺、二辛胺、三辛胺、 苯胺、二苯胺、三苯胺、啶、-皮考、- 皮考、-皮考、六氢啶、二甲基啶、嘧 啶、嗒、DBU(1,8-二氮杂双环[5,4,0]7-十一碳烯)、 DBN(1,5-二氮杂双环[4,3,0]5-壬烯)之有机基)所成。2. 一种陶瓷质物质之制造方法,其特征为使用如申请 专利范围第1项之形成陶瓷质用组成物,使水蒸汽 接触使该聚合物进行陶瓷质化者。3.一种陶瓷质 物质之制造方法,其特征为分别或同时使至少一种 选自胺化合物、酸化合物及过氧化物中之陶瓷质 化促进剂之蒸汽及水蒸汽,与矽胺烷系聚合物接触 ,以陶瓷质化该聚合物者。4.一种陶瓷质物质,其特 征为藉由如申请专利范围第2或3项之方法所得者 。5.一种对固体表面形成陶瓷质被膜之方法,其特 征为在固体表面上形成由矽胺烷系聚合物,与如申 请专利范围第1项之形成陶瓷质化组成物所成之被 膜,使水蒸汽与此被膜相接触,使该被膜陶瓷质化 者。6.一种对固体表面形成陶瓷质被膜之方法,其 特征为在固体表面上形成矽胺烷系聚合物之被膜, 使该被膜与至少一种选自胺化合物、酸性化合物 及过氧化物中之陶瓷质化促进剂的水蒸汽分别或 同时接触,以陶瓷质化该被膜者。7.如申请专利范 围第5或6项之方法,其中使水蒸汽、水、酸性水溶 液或硷性水溶液与陶瓷质被膜相接触。8.一种固 体制品,其特征为表面上具有以如申请专利范围第 5~7项中任一方法所形成之陶瓷质被膜。9.一种固 体制品上形成陶瓷质被膜的方法,其特征为包含 (i)在固体表面上涂布含有矽胺烷系聚合物,及下列 式(VII)所示之链状胺化合物或环状化合物、及至 少一种选自过氧化氢、过氧化钠、过氧化钙、过 氧化氢加成物、过氧酸、过氧酸盐之过氧化物陶 瓷质化促进剂、及有机溶剂之混合物; 前述陶瓷质化促进剂于有胺化合物下,相对于矽胺 烷系聚合物之添加量为1重量ppm以上; 前述陶瓷质化促进剂于有过氧化物下,相对于矽胺 烷系聚合物之添加量为0.1重量ppm以上;在该固体制 品上形成该涂料被膜之步骤; (ii)乾燥该固体制品上之涂料被膜,在该固体制品 上形成该聚合物被膜之乾燥步骤; (iii)使水蒸汽与该固体制品上之聚合物被膜相接 触,以陶瓷质化聚合物之陶瓷质化步骤; R5R6R7N 式(VII) (式中,R5.R6.R7为各种氢原子或有机基、至少有一为 甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、二乙胺、三乙胺 、丙胺、二丙胺、三丙胺、丁胺、二丁胺、三丁 胺、戊胺、二戊胺、三戊胺、己胺、二己胺、三 己胺、庚胺、二庚胺、辛胺、二辛胺、三辛胺、 苯胺、二苯胺、三苯胺、啶、-皮考、- 皮考、-皮考、六氢啶、二甲基啶、嘧 啶、嗒、DBU(1,8-二氮杂双环[5,4,0]7-十一碳烯)、 DBN(1,5-二氮杂双环[4,3,0]5-壬烯)之有机基)所成。10. 如申请专利范围第9项之方法,其中使水蒸汽存在 于该乾燥步骤中,同时进行该乾燥步骤中,同时进 行该乾燥步骤与该陶瓷质化步骤。11.一种在固体 制品上形成陶瓷质被膜的方法,其特征为包含 (i)在固体表面上涂布含有矽胺烷系聚合物之涂料, 在该固体制品上形成该涂料被膜之步骤; (ii)乾燥该固体制品上之涂料被膜,在该固体制品 上形成该聚合物被膜之乾燥步骤; (iii)使含有至少一种选自胺化合物、酸化合物及 过氧化物中之陶瓷质化促进剂的蒸汽及水蒸汽分 别或同时与该固体制品上之聚合物被膜相接触,以 陶瓷质化聚合物之陶瓷质化步骤; R5R6R7N 式(VII) (式中,R5.R6.R7为各种氢原子或有机基、至少有一为 甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺、二乙胺、三乙胺 、丙胺、二丙胺、三丙胺、丁胺、二丁胺、三丁 胺、戊胺、二戊胺、三戊胺、己胺、二己胺、三 己胺、庚胺、二庚胺、辛胺、二辛胺、三辛胺、 苯胺、二苯胺、三苯胺、啶、-皮考、- 皮考、-皮考、六氢啶、二甲基啶、嘧 啶、嗒、DBU(1,8-二氮杂双环[5,4,0]7-十一碳烯)、 DBN(1,5-二氮杂双环[4,3,0]5-壬烯)之有机基)所成。12. 如申请专利范围第11项之方法,其中使该陶瓷质化 促进剂之蒸汽与水蒸汽存在于该乾燥步骤中,同时 进行乾燥步骤与陶瓷质化步骤者。13.如申请专利 范围第9~12项中任一项的方法,其中该固体制品为 电子制品中所用基板或元件。14.如申请专利范围 第9~12项之任一项的方法,其中该固体制品为长条 状之塑胶薄膜。15.一种表面上具有陶瓷质被膜之 固体制品,其特征为藉由如申请专利范围第9~14项 中任一项的方法所得者。16.如申请专利范围第15 项之固体制品,其中该陶瓷质被膜中之氮含量系以 原子比为0.005~5%。图式简单说明: 图1系表示参考例1所得全氢化聚矽胺烷之IR光谱图 。 图2系表示参考例2所得聚甲基(氢化)矽胺烷之IR光 谱图。 图3系表示比较例所得聚矽胺烷处理品之IR光谱图 。 图4系表示实施例1所得聚矽胺烷处理品之IR光谱图 。 图5系表示实施例2所得聚矽胺烷处理品之IR光谱图 。 图6系表示实施例3所得聚矽胺烷处理品之IR光谱图 。 图7系表示实施例4所得聚矽胺烷处理品之IR光谱图 。 图8系表示实施例5所得聚矽胺烷处理品之IR光谱图 。 图9系表示实施例6所得聚矽胺烷处理品之IR光谱图 。 图10系表示实施例6所得聚矽胺烷处理品之IR光谱 图在2900cm-1附近之扩大图。 图11系表示实施例7所得聚矽胺烷处理品之IR光谱 图。 图12系表示实施例8所得聚矽胺烷处理品之IR光谱 图。 图13系表示实施例9所得聚矽胺烷处理品之IR光谱 图。 图14系表示实施例10所得聚矽胺烷处理品之IR光谱 图。 图15系表示实施例11所得聚矽胺烷处理品之IR光谱 图。
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