发明名称 具有磁场/电场之杂质过滤器
摘要 本发明揭示一种具有磁场/电场之杂质过滤器,包含:一弯曲的小直径管道,管道之管壁是由多孔或纤维材料制成,用于吸收液体或空气中之杂质,其中弯曲的小直径管道系置于磁场及/或电场之中,当液体或空气流经弯曲的小直径管道中时,液体或空气中之极化的粒子或带电的离子会受磁场及/或电场之作用而撞击该弯曲的小直径管道之管壁,而被管壁有效地吸收。
申请公布号 TW200408434 申请公布日期 2004.06.01
申请号 TW091134194 申请日期 2002.11.25
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 SEMICONDUCTORMANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORP. 中国 发明人 刘勇
分类号 B01D35/06 主分类号 B01D35/06
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 中国