回收监测离子布植用之晶圆的方法

摘要

一种回收监控片之方法，包含步骤：a)在该监控片上，沉积一屏蔽层；b)将测试物种植入该监控片中；c)对该监控片进行一破坏值量测；及d)去除该屏蔽层。