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发明名称 STRUCTURE AND METHOD OF FABRICATING EMBEDDED VERTICAL DRAM ARRAYS WITH SILICIDED BITLINE AND POLYSILICON INTERCONNECT
摘要
申请公布号 IL159655(D0) 申请公布日期 2004.06.01
申请号 IL20020159655 申请日期 2002.06.27
申请人 IBM CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/088;H01L27/108;(IPC1-7):H01L 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
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