WAFER CLEANING APPARATUS,申请号IL19990140682-传众专利搜索

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发明名称	WAFER CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号	IL140682(A)	申请公布日期	2004.06.01
申请号	IL19990140682	申请日期	1999.07.09
申请人	LAM RESEARCH CORPORATION	发明人
分类号	H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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