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发明名称
摘要
申请公布号
JP3533306(B2)
申请公布日期
2004.05.31
申请号
JP19970025413
申请日期
1997.02.07
申请人
发明人
分类号
H01L21/8238;G05F3/20;G11C11/408;H01L27/092;H02M3/07;H03K19/00;H03K19/094;(IPC1-7):H03K19/094;H01L21/823
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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