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发明名称
摘要
申请公布号
JP3533783(B2)
申请公布日期
2004.05.31
申请号
JP19950270257
申请日期
1995.10.18
申请人
发明人
分类号
C30B29/06;C30B31/20;H01L21/261;H01L21/322;H01L27/148;(IPC1-7):H01L21/322
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
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