发明名称
摘要
申请公布号 JP3533783(B2) 申请公布日期 2004.05.31
申请号 JP19950270257 申请日期 1995.10.18
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;C30B31/20;H01L21/261;H01L21/322;H01L27/148;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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