发明名称
摘要
申请公布号 JP3533769(B2) 申请公布日期 2004.05.31
申请号 JP19950194419 申请日期 1995.07.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/336;H01L29/00;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址