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发明名称
摘要
申请公布号	JP3533496(B2)	申请公布日期	2004.05.31
申请号	JP20000330664	申请日期	2000.10.30
申请人		发明人
分类号	H05B33/10;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/14;(IPC1-7):H05B33/10	主分类号	H05B33/10
代理机构		代理人
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