Verfahren, Vorrichtung, computerlesbares Speichermedium und Computerprogramm-Element zum Überwachen eines Herstellungsprozesses

摘要

Bei einem Verfahren zum Überwachen eines Herstellungsprozesses einer Mehrzahl von physikalischen Objekten werden mehrere Regeln gespeichert, welche mehreren Regeln sich auf zumindest einen Status mindestens eines der Mehrzahl von physikalischen Objekten beziehen. Ferner wird bei dem Verfahren unter Verwenden der mehreren Regeln eine Stichprobe aus der Mehrzahl von physikalischen Objekten ausgewählt, wobei physikalische Objekte der Stichprobe derart markiert werden, dass sie einer Messung unterzogen werden können, wobei die Regeln basierend auf dem Kriterium, dass die Anzahl von Messungen reduziert wird und redundante Messungen vermieden werden, ausgestaltet sind und wobei bei dem Verfahren die mehreren Regeln untereinander kombinierbar und gegeneinander abprüfbar sind.