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发明名称 Verfahren und Vorrichrung zur Reduzierung von Gasen bestehend aus Perfluoroverbindungen in Abgasen von einer Substrat-Bearbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69632275(D1) 申请公布日期 2004.05.27
申请号 DE1996632275 申请日期 1996.12.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 CHEUNG, DAVID;RAOUX, SEBASTIEN;HUANG, JUDY H.;TAYLOR, JR.;FODOR, MARK;FAIRBAIRN, KEVIN
分类号 B01D45/06;B01D53/32;B01D53/46;B01J19/08;B01J19/12;B01J19/24;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/31;H05H1/24;(IPC1-7):B01J12/00 主分类号 B01D45/06
代理机构 代理人
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