发明名称 Messsonde, insbesondere für eine Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten
摘要 Die Erfindung betrifft eine Messsonde, insbesondere für eine Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten, mit einem Gehäuse (12), welches zumindest eine Leiterplatte (16) und zumindest ein der Leiterplatte (16) zugeordnetes Sensorelement (37, 38) aufweist, und mit einer Aufsetzkalotte (19), welche am unteren Ende des Gehäuses (12) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein flexibles Band (39), welches wenigstens eine Anschlussleitung (41) umfasst, an der zumindest einen Leiterplatte (16) vorgesehen und aus dem Gehäuse (12) herausgeführt ist.
申请公布号 DE10348652(A1) 申请公布日期 2004.05.27
申请号 DE20031048652 申请日期 2003.10.15
申请人 IMMOBILIENGESELLSCHAFT HELMUT FISCHER GMBH & CO. KG 发明人
分类号 G01B7/06;G01B21/08;H05K1/14;(IPC1-7):G01B21/08 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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