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发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE69532907(D1) 申请公布日期 2004.05.27
申请号 DE19956032907 申请日期 1995.08.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 TAMAKI, TOKUHIKO;SUGIYAMA, TATSUO;NAKAOKA, HIROAKI
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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