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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR THERMISCHEN KONDITIONIERUNG VON SUBSTRATEN MIT PASSIVEM GAS
摘要
申请公布号
DE69629297(T2)
申请公布日期
2004.05.27
申请号
DE19966029297T
申请日期
1996.05.20
申请人
BROOKS AUTOMATION, INC.
发明人
MUKA, RICHARD S.
分类号
F27B5/04;C23C16/458;C23C16/46;C23F1/08;C23F4/00;C30B25/10;C30B31/12;F27D7/06;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/683;(IPC1-7):F27D5/00;C30B25/14;C23C16/44
主分类号
F27B5/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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