Verfahren, Vorrichtung, computerlesbares Speichermedium und Computerprogramm-Element zum Überwachen eines Herstellungsprozesses einer Mehrzahl von physikalischen Objekten

摘要

Bei dem Verfahren wird eine Analyse unter Verwenden von Werten von mindestens einem Prozessparameter des Herstellungsprozesses des physikalischen Objektes vorgenommen und als Ergebnis der Analyse werden physikalische Objekte, wenn sie einem vorgegebenen Auswahlkriterium genügen, derart gekennzeichnet, dass die zugehörigen physikalischen Objekte als Stichprobe für die Überwachung des Herstellungsprozesses heranzuziehen sind.