| 发明名称 |
Substratfehlerreparaturvorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10196869(T5) |
申请公布日期 |
2004.05.27 |
| 申请号 |
DE20011096869T |
申请日期 |
2001.09.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
MORISHITA, MASAHIKO |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/268;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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