| 发明名称 |
Edge-contact ring for a wafer pedestal |
| 摘要 |
An embodiment of the invention is an edge-contact ring 15 used to support a wafer 3 on a pedestal plate 16.
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| 申请公布号 |
US2004099375(A1) |
申请公布日期 |
2004.05.27 |
| 申请号 |
US20020301464 |
申请日期 |
2002.11.21 |
| 申请人 |
HE YANGHUA;KANESHIGE CHAD J.;WANG MICHAEL S. |
发明人 |
HE YANGHUA;KANESHIGE CHAD J.;WANG MICHAEL S. |
| 分类号 |
B24B37/04;H01L21/687;(IPC1-7):C23F1/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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