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发明名称
摘要
申请公布号
JP2004515887(A)
申请公布日期
2004.05.27
申请号
JP20020548747
申请日期
2001.10.10
申请人
发明人
分类号
H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04;H05B33/10;H05B33/12;(IPC1-7):H05B33/14
主分类号
H01L51/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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