发明名称 |
带有可移动透镜的光刻装置和在存储媒体中制作数字全息图的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种在存储媒体(4)中制作数字全息图的光刻装置,该光刻装置包括:以预定光束截面产生写入光束(12)的光源(6,10);把写入光束(12)聚焦在待写入的存储媒体(4)上的写入透镜(14),该写入透镜(14)被安放在透镜托架(16)中;和用于使写入光束相对于存储媒体作两维运动的驱动装置。通过光学光刻装置,解决尽可能快地、并以少的努力写入计算机产生全息图的技术问题,在于:设置第一驱动装置(18),以便与写入光束(12)基本上成直角地移动透镜托架(16),还在于:写入透镜(14)孔径小于写入光束(12)截面。本发明还涉及一种在存储媒体中制作全息图的光刻方法。 |
申请公布号 |
CN1500233A |
申请公布日期 |
2004.05.26 |
申请号 |
CN02807622.2 |
申请日期 |
2002.03.28 |
申请人 |
特萨斯克里伯斯有限公司 |
发明人 |
斯蒂芬·诺特;克利斯托弗·迪特利奇;罗伯特·托曼;斯蒂凡·斯塔德勒;约恩·雷博 |
分类号 |
G03F7/20;G03H1/08;G03F1/08 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
蒋世迅 |
主权项 |
1.一种用于在存储媒体(4)中制作数字全息图的光刻装置,包括:以预定光束截面产生写入光束(12)的光源(6,10);把写入光束(12)会聚在待写入的存储媒体(4)上的写入透镜(14),该写入透镜(14)置于透镜托架(16)内;和使写入光束(12)相对于存储媒体(4)作两维运动的驱动装置。 |
地址 |
德国海德堡 |