发明名称 | 正性光敏组成物 | ||
摘要 | 本发明涉及到一种正性光敏组成物,由在一个分子中具有两个或更多环氧基团的环氧化合物、固化催化剂或通过加热用于产生固化催化剂的化合物以及磺酸盐组成;还涉及到一种制造半导体组件的方法,该方法包括将正性光敏组成物涂在基片上曝光后,通过加热固化未曝光部分,并显影曝光部分;以及涉及到一种制造显示器组件的方法,该方法包括将正性光敏组成物涂在基片上曝光后,通过加热固化未曝光部分,并显影曝光部分。 | ||
申请公布号 | CN1499295A | 申请公布日期 | 2004.05.26 |
申请号 | CN200310102321.4 | 申请日期 | 2003.10.24 |
申请人 | 住友化学工业株式会社 | 发明人 | 矢作公 |
分类号 | G03F7/039;G03F7/00;H01L21/027 | 主分类号 | G03F7/039 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
主权项 | 1.一种正性光敏组成物,其特征在于包括:在一个分子中具有两个或多个环氧基团的环氧化合物;固化催化剂或通过加热产生固化催化剂的化合物;以及一磺酸盐。 | ||
地址 | 日本大阪市 |