LASER LITHOGRAPHY LIGHT SOURCE WITH BEAM DELIVERY,申请号EP20020759404-传众专利搜索

发明名称	LASER LITHOGRAPHY LIGHT SOURCE WITH BEAM DELIVERY
摘要
申请公布号	EP1421653(A1)	申请公布日期	2004.05.26
申请号	EP20020759404	申请日期	2002.08.19
申请人	CYMER, INC.	发明人	KLENE, BRIAN, C.;DAS, PALASH, P.;GROVE, STEVEN, L.;ERSHOV, ALEXANDER, I.;SMITH, SCOTT, T.;PAN, XIAOJIANG, J.;SANDSTROM, RICHARD, L.
分类号	H01L21/027;H01S3/225;G03F7/20;H01S3/00;H01S3/02;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/04;H01S3/041;H01S3/08;H01S3/0943;H01S3/097;H01S3/0971;H01S3/0975;H01S3/10;H01S3/102;H01S3/104;H01S3/105;H01S3/11;H01S3/13;H01S3/134;H01S3/139;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/23;(IPC1-7):H01S3/22	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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