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发明名称
METHOD OF CLEANING AN INTER-LEVEL DIELECTRIC INTERCONNECT
摘要
申请公布号
EP1421611(A2)
申请公布日期
2004.05.26
申请号
EP20020797624
申请日期
2002.08.26
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
FANG, SUNFEI
分类号
H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311
主分类号
H01L21/311
代理机构
代理人
主权项
地址
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