发明名称 | 用于制备薄膜的筒型辐射式加热器 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于制备薄膜的筒型辐射式加热器,包括一筒型炉体,在炉体的炉壁上绕有加热丝,炉体的外侧有隔热层,所述的加热丝受控于一控温单元装置;炉体炉底周边上均布若干孔。本加热器结构合理紧凑;温度恒温区面积有足够大的尺寸,可满足制备大面积双面超导薄膜的要求;温度可调且选择范围宽,温度可调且选择范围宽;使用该加热器,方便确定薄膜最佳工艺参数,并具重复性;使用寿命长,抗破坏能力强。 | ||
申请公布号 | CN1499164A | 申请公布日期 | 2004.05.26 |
申请号 | CN02146098.1 | 申请日期 | 2002.11.04 |
申请人 | 北京有色金属研究总院 | 发明人 | 王小平;冯稷;刘援;王霈文;古宏伟 |
分类号 | F27B5/04 | 主分类号 | F27B5/04 |
代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱丽华 |
主权项 | 1、一种用于制备薄膜的筒型辐射式加热器,包括一筒型炉体,其特征在于:在炉体的炉壁上绕有加热丝,炉体的外侧有隔热层,所述的加热丝受控于一控温单元装置。 | ||
地址 | 100088北京市新街口外大街2号 |