发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 SG103902(A1) 申请公布日期 2004.05.26
申请号 SG20020007821 申请日期 2002.12.26
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BAKKER, LEON;JONKERS, JEROEN;VISSER, HUGO, MATTHIEU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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