一种微机电开关

摘要

本发明提出了一种微机电开关，其特性可通过施加控制信号来改变，既可改变一个或多个微机电开关的参数，也可通过反馈信号控制杆的移动。因此，可以改变微机电开关的开关过渡时间、最大开关频率、动力误差，和/或灵敏度(促动电压)。

主权项

1.一种包括开关元件的微机电开关结构，所述开关元件包括第一开关支撑件，开关促动控制电极，和具有第一端和第二端的开关杆，所述开关杆的第一端支撑于所述第一开关支撑件，其特征在于，所述微机电开关结构还包括：第一可结构变形支撑件，与所述第一开关支撑件间隔开；第一可结构变形杆，包括第一端和第二端，所述第一可结构变形杆的第一端支撑于所述第一可结构变形支撑件，所述第一可结构变形杆的第二端支撑于所述第一开关支撑件；第一可结构变形促动控制电极设置在所述第一可结构变形支撑件和所述第一开关支撑件之间；所述第一开关支撑件是可延展的，因此可将所述第一可结构变形促动控制电极对所述第一可结构变形杆促动造成的所述第一可结构变形杆的张力变化传递到所述开关杆，因此，所述促动改变了所述开关元件的特性。