发明名称 使凝胶管烧结的方法和装置
摘要 本发明公开了一种对由溶胶-凝胶变化形成的凝胶管进行烧结的方法和装置。所述的烧结装置包括:反应室,用于在密封的真空条件下装入凝胶管;真空泵,用于依据控制信号,对反应室内的真空条件进行调整;真空计,用于测量反应室内的真空条件;可移动部分,用于支承凝胶管,并且依据控制信号,对该凝胶管进行旋转和垂直移动;温度传感器,用于测量反应室内的温度;加热器,用于依据控制信号,对反应室内的温度进行调整,以便对凝胶管进行烧结;以及,控制器,用于控制真空管、加热器、以及可移动部分,以便在真空条件下对凝胶管进行烧结。
申请公布号 CN1498746A 申请公布日期 2004.05.26
申请号 CN200310104442.2 申请日期 2003.10.29
申请人 三星电子株式会社 发明人 孙元正;朴渊龙;白永珉;吴廷贤
分类号 B29C67/04 主分类号 B29C67/04
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 戎志敏
主权项 1.一种对由溶胶—凝胶工艺形成的凝胶管进行烧结的方法,其特征在于:在真空条件下对该凝胶管进行烧结,同时对该凝胶管进行旋转和垂直移动,从而增加在凝胶管中保留的气体的扩散速度。
地址 韩国京畿道