集成电路装置的合格率估算方法

摘要

一种高精度集成电路装置的合格率估算方法。输入芯片面积A、元件数、缺陷密度D等信息，算出元件密度TD、平均元件密度TDM。由表示合格率对缺陷密度及芯片面积A的依赖特性的斯塔珀公式等估算公式Y＝f(A)算出逆芯片面积A’。对于扩散工序中的各种集成电路装置，由比值(A’/A)和比值(TD/TDM)之间的关系数据决定最合适的函数关系g(TD/TDM)，并由其算出修正系数K。最后将K、A的值代入Y＝f(A*K)，算出预测合格率Y。

主权项

1、一种集成电路装置的合格率估算方法，包括以下步骤：输入集成电路装置内的元件数、所述集成电路装置的芯片面积、和所述集成电路装置的制造工序中的缺陷密度的步骤；算出单位面积上所述元件的数目即元件密度的步骤；选择表示预计的合格率对缺陷密度及芯片面积的依赖特性的估算公式的步骤；根据由所述步骤算出的所述元件密度对芯片面积进行修正的步骤；以及将所述修正的芯片面积和所述缺陷密度代入所述估算公式，算出所述集成电路装置的预测合格率的步骤。