位移检测方法、位移检测设备及记录设备

摘要

一种位移检测方法，其中在要测量的物体的表面上反射光束，根据由于所述物体的表面位移的变化而引起的反射光束的变化，检测所述物体的表面位移，所述方法包括以下步骤：至少从实质上相对的两个光源，使光束入射到所述物体表面上实质上相同的位置上；由位置检测器分别检测在所述物体的表面上反射的光束的方向变化；分别用所述位置检测器接收到的光强度对所述位置检测器的输出信号进行归一化；以及计算所述位置检测器归一化了的输出信号的和或差。

主权项

1、一种位移检测方法，其中在要测量的物体的表面上反射光束，根据由于所述物体的表面位移的变化而引起的反射光束的变化，检测所述物体的表面位移，所述方法包括以下步骤：至少从实质上相对的两个光源，使光束入射到所述物体表面上实质上相同的位置上；由位置检测装置分别检测在所述物体的表面上反射的光束的方向变化；分别用所述位置检测装置接收到的光强度对所述位置检测装置的输出信号进行归一化；以及计算所述位置检测装置归一化了的输出信号的和或差。