发明名称 氧化物烧结体和溅射靶,以及用作电极的透明导电氧化物膜的制备方法
摘要 本发明提供了一种用于溅射靶的氧化物烧结体,其中主要成分是氧化铟,并包含使Ti/In的原子比率为0.003至0.120的钛,并且其电阻率为1kΩcm或更小。
申请公布号 CN1498875A 申请公布日期 2004.05.26
申请号 CN200310120357.5 申请日期 2003.10.29
申请人 住友金属矿山株式会社 发明人 阿部能之;石山典子;小原刚
分类号 C04B35/46;C04B35/622;H01B1/08;C23C14/34 主分类号 C04B35/46
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 蔡胜有
主权项 1.一种主要由氧化铟构成并含有钛的氧化物烧结体,其中所含的钛使Ti/In原子比率为0.003至0.120,并且其中电阻率为1kΩ或更低。
地址 日本东京都