新颖的电流感测元件及其制造方法

摘要

一种新颖的电流感测元件及其制造方法：主要以镍铜合金或锰铜合金或镍铬合金等低温度电阻系数(TCR)合金的薄膜，作为基板表层，通过热压贴合方式，紧密附着于陶瓷、氧化铝、氮化铝或氧化铍(BeO)薄板上、下表面上，而形成的新型基板；其次，利用光罩蚀刻，于基板表层上形成电流感测器的布局图案；再于感测器单元的两侧电极部分利用电镀，于底面形成覆晶，并将正面的电极镀厚；然后以雷射修整，得到具有精确阻值的感测器图形；又于感测器图形上被覆一保护层；并予切条，以溅镀法被覆端面电极；最后进行切粒、滚镀，而得微小的晶片型电流感测元件。

主权项

1.一种新颖的电流感测元件的制造方法：主要以镍铜合金或锰铜合金或镍铬合金等低温度电阻系数(TCR)合金的薄膜作为基板表层，通过热压贴合方式，紧密附着于陶瓷如氧化铝、氮化铝或氧化铍(BeO)薄板上、下表面上，而形成的新型基板；其次，利用光罩蚀刻，于基板表层上形成电流感测器的布局图案；再于感测器单元的两侧电极部分利用电镀，于底面形成覆晶，并将正面的电极镀厚；然后以雷射修整，得到具有精确阻值的感测器图形；又于感测器图形上被覆一保护层；并予切条，以溅镀法被覆端面电极；最后进行切粒、滚镀，而得微小的晶片型电流感测元件。