测量仪校准法

摘要

本发明涉及一种测量仪校准方法和装置，它具有至少两个相对运动的分系统(K；M)、在至少一个分系统的至少一个探测部分(A)上具有产生至少一个第一分系统(K)的图象的装置。本发明在建立一个数学模型之后推导出至少一个参数组，它将对测量仪的系统测量误差的影响因素量化，其中至少一个参数来自数学模型。之后，在第二分系统(M)上产生第一分系统(K)的结构要素(S)的图象，所述结构要素确定了一个分系统的相对位置。第一分系统(K)的结构要素(S)的图象通过探测部分(A)转换成信号，且至少一个信号矢量被记录下来。从参数组的估算值中推导出修正值并使之可用，这些修正值减小了测量仪的系统测量误差。

主权项

1、测量仪校准方法，它具有至少两个相对运动的分系统(K；M)、在至少一个分系统(K；M)的至少一个探测部分(A)上具有产生至少一个第一分系统(K)的一图象的装置(L)，该方法包括以下步骤并且其中的一个或多个步骤可以多次重复进行：*建立一个描绘分系统之间的相对位置的和至少一个图象的数学模型，*推导出至少一个参数组，它将对测量仪的系统测量误差的影响因素量化，其中的至少一个参数来自数学模型，*如此在第二分系统(M)上产生一个至少一个第一分系统(K)的确定一分系统的相对位置的结构要素(S)的且最好是一安装在第一分系统(K)上的标记的图象，即该图象包含关于分系统相对位置的信息，*通过探测部分(A)将该第一分系统的结构要素图象转换成信号，*从探测部分(A)的信号中记录下至少一个信号矢量，它有至少一个包含与分系统(K；M)的相对位置有关的信息的分量，*从该至少一个信号矢量中估算出参数组值，*从参数组值中推导并准备出修正值，这些修正值减小了测量仪的系统测量误差。