微铸碳化硅纳米压印模

摘要

本发明公开了一种微铸碳化硅纳米压印模(10)及制造一种这种微铸碳化硅纳米压印模的方法。采用一种微铸技术来形成一基础层(11)和一些与基础层(11)相连的纳米尺寸特征(12)。该基础层(11)和纳米尺寸特征(12)是一个整体，而且全部用包含碳化硅(SiC)的材料制成，碳化硅比单独的硅硬度要大。结果微铸碳化硅纳米压印模(10)具有较长的使用寿命，因为它能承受几个压印循环而不磨损或损坏。使用寿命较长使得微铸碳化硅纳米压印模(10)在制造上较经济，因其制造成本在使用期内就能回收。

主权项

1.一种微铸碳化硅纳米压印模(10)，包括：操作衬底(15)；与操作衬底(15)相连的胶层(17)；与胶层(17)相连并具有基面(13)的基础层(11)；一些与基础层(11)相连且从基面(13)伸出的纳米尺寸特征(12)，该纳米尺寸特征(12)包括界定压印轮廓的外表面，基础层(11)和纳米尺寸特征(12)是微铸的整体，且全部用包含碳化硅的材料制成；其中碳化硅的硬度可以使纳米压印模(10)在反复接合要被压印的媒质(50)后仍保持纳米尺寸特征(12)的压印轮廓。