| 发明名称 | 氧化锌膜和使用它的光电元件、以及氧化锌膜的形成方法 | ||
| 摘要 | 提供一种氧化锌膜和使用它的光电元件、以及氧化锌膜的形成方法。该氧化锌膜在表面上具有由凸部组成的多个结构物，该凸部具有第一面和第二面以一根曲线连接的结构，该结构物具有的该第一面的平均倾斜角的大小在30度以上60度以下的范围，该第二面的平均倾斜角的大小在10度以上35度以下的范围的凸部，占上述多个凸部的半数以上。由此，可以提高作为光电元件的光封闭层所使用的氧化锌膜的特性及耐久性，同时可以便宜地形成。 | ||
| 申请公布号 | CN1499648A | 申请公布日期 | 2004.05.26 |
| 申请号 | CN200310102946.0 | 申请日期 | 2003.10.30 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 近藤隆治;远山上;林亨;园田雄一;西元智紀;山田聪;东川诚;岩田益光;宫本祐介 |
| 分类号 | H01L31/04;H01L31/18;H01L21/20;C23C28/04;C25D9/04 | 主分类号 | H01L31/04 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 付建军 |
| 主权项 | 1.一种氧化锌膜，是在衬底上形成的氧化锌膜，其特征在于，在该氧化锌膜的表面上具有由凸部组成的多个结构物，该凸部具有第一面和第二面以一根曲线连接的结构，该结构物具有的该第一面的平均倾斜角的大小在30度以上60度以下的范围，且该第二面的平均倾斜角的大小在10度以上35度以下的范围的凸部，占上述多个凸部的半数以上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||