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发明名称 CHEMICAL-AMPLIFICATION POSITIVE-WORKING PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 AU2003274760(A1) 申请公布日期 2004.05.25
申请号 AU20030274760 申请日期 2003.10.27
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 KAZUYUKI NITTA;NAOTO MOTOIKE
分类号 G03F7/039;G03C1/492;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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