发明名称 |
Field effect transistor and method for production thereof |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003294616(A8) |
申请公布日期 |
2004.05.25 |
申请号 |
AU20030294616 |
申请日期 |
2003.10.29 |
申请人 |
HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH |
发明人 |
ROLF KONENKAMP |
分类号 |
H01L21/336;H01L21/768;H01L27/28;H01L29/775;H01L29/78;H01L29/786;H01L51/00;H01L51/30;(IPC1-7):H01L51/20 |
主分类号 |
H01L21/336 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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