螺旋式真空泵

摘要

【课题】谋求真空泵的省能源化，且抑制温度上升，使排气时间缩短。【解决手段】一种真空泵，系啮合一对螺旋转子并自由旋转的收纳于壳体内，且沿着轴方向排出气体者，且，前述一对螺旋转子具有于轴方向顺序排列之理论排量不同之3种类之螺旋齿，且第1种之螺旋齿和第2种之螺旋齿之间之空间、与第2种之螺旋齿和第3种之螺旋齿之间之空间，系藉由止回阀接续于吐出侧而连接于旁通管。且，3种类之螺旋齿的排量，系令第1行程与第2行程之风量比为大略1.4、第2行程与第3行程的风量比为大略1.4，即第1行程与第3行程的风量比作为大略2。在第3行程中，将气体压缩至约为第1行程的1/2后，打开吐出孔使气体排出。

主权项

1.一种螺旋式真空泵,系使轴直角截面形状由长短辐圆外旋轮曲线、圆弧、拟安基米得曲线所形成之一对螺旋转子啮合,且收纳于壳体内而可自由旋转,并可沿着轴方向排出气体者;又前述一对螺旋转子具有于轴方向顺序排列之理论排量不同之3种类之螺旋齿,且第1种螺旋齿和第2种螺旋齿之间之空间、与第2种螺旋齿和第3种螺旋齿之间之空间,分别藉由止回阀接续于吐出侧而连接于旁通管。2.如申请专利范围第1项之螺旋式真空泵,其中关于前述3种类之螺旋齿的排量,系令第1行程与第2行程的风量比为大略1.4.第2行程与第3行程的风量比为大略1.4,即第1行程与第3行程的风量比为大略2。3.如申请专利范围第1或2项之螺旋式真空泵,系在前述第3行程中,将气体压缩至约为第1行程之1/2后,打开吐出孔使气体排出者。图式简单说明:第1图为表示关于本发明之螺旋式真空泵之一实施型态之截面图。第2图为表示相同之真空泵之一对螺旋转子的形状之轴直角截面图。第3图为表示比较本发明之真空泵与习知之真空泵的工作量之PV线图。第4图为表示本发明之真空泵的排气速度与轴动力之性能线图。第5图为表示习知之真空泵之截面图。第6图为表示习知之真空泵的排气速度与轴动力之性能线图。