| 摘要 |
一种用于目视检查基板(S)的布置系包括：显微镜(2)，系用于观测出现在检查点(I)上的基板(S)；至少一个视野(11)，系配置于紧邻显微镜观测埠(2a)处，用于观测该基板上某一影像或影像面积；及/或至少一个另一视野(12)，系配置于紧邻显微镜观测埠(2a)处用于直接观测该基板(S)或该基板(S)上某一部分；其中相对于操作位置(P)而配置该显微观测埠(2a)及各视野(11,12)，其方式是观测者从该操作位置(P)沿着垂直该显微观测埠(2a)之第一观测方向(A)，及在各例中至少沿着大概垂直各视野(11,12)之一的另一观测方向(B,B')观看。该第一观测方向(A)与另一观测方向(B,B')围成一锐角(α,α')。结果是产生了一种显着地符合人体工学且具有轻便设计规范的布置。 |
| 主权项 |
1.一种用于目视检查基板(S)的布置,系包括:显微镜 (2),系用于观测出现在检查点(I)上的基板(S);至少 一个视野(11),系配置于紧邻显微观测埠(2a)处用于 观测该基板上某一影像或影像面积;及/或至少一 个另一视野(12),系配置于紧邻显微观测埠(2a)处,用 于直接观测该基板(S)或该基板(S)上某一部分;该显 微观测埠(2a)及各视野(11,12)系相对于操作位置(P) 而配置,其方式是从该操作位置(P)观测者会沿着垂 直该显微观测埠(2a)之第一观测方向(A),及至少沿 着另一大概垂直各视野(11,12)之一的观测方向(B,B') 观看;及该第一观测方向(A)会与另一观测方向(B,B') 围成一锐角(,')。2.如申请专利范围第1项之布 置,其中具有围绕该检查点(I)的外壳(3),该显微镜(2 )由该外壳(3)局部地包围并各视野(11,12)定位在该 外壳(3)上某一外壁(14)内。3.如申请专利范围第1项 之布置,其中具有一控制台(9),配置于操作位置(P) 上以便输入用于该显微镜(2)及/或用以在检查点(I) 上来回搬运各基板(S)的运输装置(4)的提示。4.如 申请专利范围第2项之布置,其中具有一控制台(9), 配置于操作位置(P)上以便输入用于该显微镜(2)及/ 或用以在检查点(I)上来回搬运各基板(S)的运输装 置(4)的提示。5.如申请专利范围第1至第4项中任一 项之布置,其中该视野(11)建造成监视器(15),于此监 视器(15)上显示出该基板(S)的影像或影像面积。6. 如申请专利范围第1至第4项中任一项之布置,其中 该第二视野(12)建造成透明面板(18)透过此透明面 板直接看到该基板(S)或是该基板(S)上的某一部分 。7.如申请专利范围第5项之布置,其中该第二视野 (12)建造成透明面板(18)透过此透明面板直接看到 该基板(S)或是该基板(S)上的某一部分。图式简单 说明: 第1图系用以显示一种根据本发明第一解释用实施 例之检查布置的平面示意图; 第2图系用以显示第1图之检查布置的侧视图; 第3图系用以显示一种根据本发明第二解释用实施 例之检查布置的平面示意图; 第4图系用以显示第3图之检查布置的侧视图; 第5图系用以显示一种根据本发明第三解释用实施 例之检查布置的平面示意图; 第6图系用以显示第5图之检查布置的侧视图; 第7图系用以显示一种习知检查布置的平面示意图 ; 第8图系用以显示第7图之已知检查布置的侧视图 。 |
