发明名称 结合预先混合和即时混合之研磨浆液传输系统
摘要 结合预先混合和即时混合之研磨浆液传输系统,其包括有复数个研磨浆液系统,分别提供不同之复数个研磨浆液组成;复数个浆液传输管路,耦接于该等研磨浆液系统,用来传输该等研磨浆液;一即时混合系统,耦接于该等浆液传输管路,用以将该等研磨浆液定量混合后,即时传输出去;一预先混合槽,耦接于该等浆液传输管路,用以混合配制该等研磨浆液至一预定比值后,再传输出去。
申请公布号 TW587970 申请公布日期 2004.05.21
申请号 TW090129099 申请日期 2001.11.23
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 陈炳旭;张肇荣;罗瑞成;林俞良;蔡尚庭;庄平
分类号 B24B57/00;B24C7/00 主分类号 B24B57/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路四段二七九号三楼
主权项 1.一种结合预先混合和即时混合之研磨浆液传输 系统,其包括: 复数个研磨浆液系统,分别提供不同之复数个研磨 浆液组成; 复数个浆液传输管路,耦接于该等研磨浆液系统, 用来传输该等研磨浆液; 一即时混合系统,耦接于该等浆液传输管路,用以 将该等研磨浆液混合后,即时传输出去; 一预先混合槽,耦接于该等浆液传输管路,用以混 合配制该等研磨浆液至一预定比値后,再传输出去 。2.如申请专利范围第1项所述之结合预先混合和 即时混合之研磨浆液传输系统,其中在该即时混合 系统中该等研磨浆液混合后之比例是藉由精确控 制该等研磨浆液之流速所决定。3.如申请专利范 围第1项所述之结合预先混合和即时混合之研磨浆 液传输系统,其中在预先混合槽中该等研磨浆液混 合后之比例是藉由控制该等研磨浆液之重量所决 定。4.一种结合预先混合和即时混合之研磨浆液 传输系统,其包括: 一第一研磨浆液系统,在该第一研磨浆液系统中包 括一第一研磨浆液和一第一回路系统,而该第一回 路系统中具有一第一动力泵; 一第二研磨浆液系统,在该第二研磨浆液系统中包 括一第二研磨浆液和一第二回路系统,而该第二回 路系统中具有一第二动力泵; 一第一浆液传输管路,耦接于该第一研磨浆液系统 ,用来传输该第一研磨浆液,其中在该第一浆液传 输管路中包括一第一阀门和一第三动力泵; 一第二浆液传输管路,耦接于该第二研磨浆液系统 ,用来传输该第二研磨浆液,其中在该第二浆液传 输管路中包括一第二阀门和一第四动力泵; 一即时混合系统,耦接于该第一浆液传输管路和该 第二浆液传输管路,用以将该第一研磨浆液和该第 二研磨浆液混合成一第一混合研磨浆液后,即时传 输出去; 一第三浆液传输管路,耦接于该第一研磨浆液系统 ,用来传输该第一研磨浆液,其中在该第三浆液传 输管路中包括一第三阀门; 一第四浆液传输管路,耦接于该第二研磨浆液系统 ,用来传输该第二研磨浆液,其中在该第四浆液传 输管路中包括一第四阀门; 一预先混合槽,耦接于该第三浆液传输管路和该第 四浆液传输管路,用以混合配制该第一研磨浆液和 该第二研磨浆液至一预定比値,而形成一第二混合 研磨浆液后,再传输出去。5.如申请专利范围第4项 所述之结合预先混合和即时混合之研磨浆液传输 系统,其中该第一动力泵是用来控制在该第一回路 系统中该第一研磨浆液的流动。6.如申请专利范 围第4项所述之结合预先混合和即时混合之研磨浆 液传输系统,其中该第二动力泵是用来控制在该第 二回路系统中该第二研磨浆液的流动。7.如申请 专利范围第4项所述之结合预先混合和即时混合之 研磨浆液传输系统,其中该第一阀门为控制该第一 浆液传输管路的开关。8.如申请专利范围第4项所 述之结合预先混合和即时混合之研磨浆液传输系 统,其中该第三动力泵为控制该第一研磨浆液的流 速。9.如申请专利范围第4项所述之结合预先混合 和即时混合之研磨浆液传输系统,其中该第二阀门 为控制该第二浆液传输管路的开关。10.如申请专 利范围第4项所述之结合预先混合和即时混合之研 磨浆液传输系统,其中该第四动力泵为控制该第二 研磨浆液的流速。11.如申请专利范围第4项所述之 结合预先混合和即时混合之研磨浆液传输系统,其 中该第一混合研磨浆液之混合比例是藉由该第三 动力泵控制该第一研磨浆液的流速和该第四动力 泵控制该第二研磨浆液的流速所决定。12.如申请 专利范围第4项所述之结合预先混合和即时混合之 研磨浆液传输系统,其中该第三阀门为控制该第三 浆液传输管路的开关。13.如申请专利范围第4项所 述之结合预先混合和即时混合之研磨浆液传输系 统,其中该第四阀门为控制该第四浆液传输管路的 开关。14.如申请专利范围第4项所述之结合预先混 合和即时混合之研磨浆液传输系统,其中在该预先 混合槽中更包括一测重计,用来测量该第一研磨浆 液和该第二研磨浆液的重量,而该第二混合研磨浆 液之混合比例便是藉由该测重计测量该第一研磨 浆液和该第二研磨浆液的重量来控制。图式简单 说明: 第1图系为本发明中结合预先混合和即时混合之研 磨浆液传输系统的示意图。
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