发明名称 压电谐振器、压电滤波器以及通信装置
摘要 本发明提供一种散热性好、耐高功率的压电谐振器、压电滤波器、双工器以及通信装置。设置具有开口部或凹部的支持基板(10)。设置形成在所述开口部或凹部上的、一层以上的压电薄膜(15)。设置振动部(11b),振动部(11b)具有这样的构造,即使得至少一对上部电极(16)以及下部电极(14)相对地挟住压电薄膜(15)的上下表面。在除了振动部(11b)以外的位置并且在上部电极(16)以及压电薄膜(15)的至少一方上设置散热膜(18)。
申请公布号 CN1497842A 申请公布日期 2004.05.19
申请号 CN03160357.2 申请日期 2003.09.25
申请人 株式会社村田制作所 发明人 野村忠志;山田一;久保龙一
分类号 H03H9/08;H03H9/15 主分类号 H03H9/08
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 包于俊
主权项 1.一种压电谐振器,包括具有开口部或凹部的基板;以及具有形成在所述开口部或凹部上,使至少一对上部电极及下部电极相对地挟住具有一层以上的压电薄膜的薄膜部的上下表面的结构的振动部,其特征在于,在除了所述振动部以外的位置,且是在所述上部电极和所述压电薄膜的至少一方上形成散热膜。
地址 日本京都府长冈京市