打印机头的制造方法及静电作动器的制造方法

摘要

在可动电极形成于固定电极上的牺牲层上之后，除去牺牲层，形成在固定电极和可动电极之间的空间。这样，可简单和精确地制造以及简单地集成驱动电路。

主权项

1.打印机头的制造方法，它通过使可动电极移动，改变液体墨盒的容积，将小墨滴从预定的喷嘴喷出；该可动电极由在固定电极和可动电极之间产生的静电力驱动移动；该方法包括：固定电极形成步骤，用于在预定的基片上形成固定电极；牺牲层形成步骤，用于在固定电极上形成牺牲层；可动电极形成步骤，用于在牺牲层上形成可动电极；和牺牲层除去步骤，用于除去牺牲层，在固定电极和可动电极之间形成空间。