发明名称 Beschleunigungssensor
摘要
申请公布号 DE10147997(B4) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 DE20011047997 申请日期 2001.09.28
申请人 MURATA MFG. CO., LTD. 发明人 TABOTA, JUN
分类号 G01P15/08;G01P15/09;G01P15/097;G01P15/10;H01L41/08;(IPC1-7):G01P15/09 主分类号 G01P15/08
代理机构 代理人
主权项
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