投影光学系统以及具备该投影光学系统的曝光装置

摘要

一种反射型投影光学系统，对X光有良好的反射特性，能够抑制反射镜的大型化，并且能进行良好的像差修正，该投影光学系统配备六个反射镜，可在第二面(7)上形成第一面(4)的缩小像。该投影光学系统具备第一反射成像光学系统(G1)用以形成第一面的中间像，以及第二反射成像光学系统(G2)用以在第二面上形成中间像的像。第一反射成像光学系统，依据第一面的来光的入射顺序，设有第一反射镜(M1)、开口光圈(AS)、第二反射镜(M2)、第三反射镜(M3)、及第四反射镜(M4)。第二反射成像光学系统，依据第一面来的光的入射顺序，配有第五反射镜(M5)及第六反射镜(M6)。

主权项

1.一种投影光学系统，配有六个反射镜，用于在第二面上形成第一面的缩小像，其特征为：配备第一反射成像光学系统，用以形成该第一面的中间像，及第二反射成像光学系统用以在该第二面上形成该中间像的像；且该第一反射成像光学系统，依据该第一面来的光的入射顺序，配有第一反射镜(M1)、开口光圈(AS)、第二反射镜(M2)、第三反射镜(M3)、及第四反射镜(M4)；且该第二反射成像光学系统，依据该第一面来的光的入射顺序，配有第五反射镜(M5)及第六反射镜(M6)。