平面载物台装置

摘要

本发明提供一种通过容易的方法就能得到台板的良好的平面度稳定性的小型平面载物台装置。其特征为，具有平面的台板通过由3个支承部件构成的固定式支承体，以及变位式支承体而被支承，该变位式支承体在该固定式支承体形成的支承点以外的位置上形成支承点、通过在与台板的平面垂直的方向伸缩来变位、并且能够将所选择的一个变位状态进行保持。

主权项

1、一种平面载物台装置，其特征为，具有平面的台板通过由3个支承部件构成的固定式支承体、以及变位式支承体而被支承，该变位式支承体在该固定式支承体形成的支承点以外的位置上形成支承点、通过在与台板的平面相垂直的方向进行伸缩来变位、并且能够保持被选择的一个变位状态。